Sol-jel yöntemiyle hazırlanmış Ag katkılı HfO2 ince filmlerin yapısal ve optiksel özelliklerinin incelenmesi

Abstract

Bu çalışmada, sol-jel daldırma yöntemiyle cam yüzeylere katkısız ve Ag-katkılı HfO2 ince filmler elde edilmiştir. Daha sonra bu filmler 1 saat 500 C’de tavlamaya bırakılmıştır. Katkısız ve Agkatkılı HfO2 ince filmlerin yapısal ve optiksel özellikleri X-ışını kırınım deseni (XRD), UV-VIS spektrometresi ve taramalı elektron mikroskopu (SEM) ile karakterize edilmiştir. Yapılan analiz sonuçları literatürde çeşitli yöntemlerle elde edilmiş HfO2 kaplama sonuçlarıyla karşılaştırılmış ve yorumlanmıştır.

In this study, undoped and Ag-doped HfO2 thin films were deposited on glass substrates using sol-gel dip coating method. These films were then thermally annealed at 500 C for one hour. The structural and optical properties of undoped and Ag-doped HfO2 thin films were characterized by X-ray diffraction, (XRD), UV-VIS spectrometry and scanner electron microscope (SEM). The results of this analysis were compared and interpreted with the results obtained in literature by various methods of coating with HfO2.