Pakma, OsmanArslan Akyüz, Hicran2022-11-302022-11-302021-06-232021-06-23Arslan Akyüz, H. (2021). Krom katkılı HfO2 ince filmlerin fiziksel özelliklerinin incelenmesi. (Yayınlanmamış Yüksek Lisans Tezi). Batman Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü, Batman.https://hdl.handle.net/20.500.12402/4331Bu tez çalışmasında, cam tutucu yüzeylere katkısız ve % 1, % 5, % 10 krom (Cr) katkılı HfO2 ince filmler sol-jel daldırma yöntemiyle elde edilmiştir. Elde edilen filmler bir saat 500 C’de tavlamaya bırakılmıştır. Tüm ince filmlerin kalınlıkları foto spektrometre yardımıyla ölçülmüştür. Kalınlıkları tespit edilmiş ince filmlerin yapısal ve optiksel özellikleri X-ışını kırınım deseni (XRD) ve UV-VIS spektrometresi incelenmiştir. Tüm analiz ve sonuçlar literatürde çeşitli yöntemlerle elde edilmiş HfO2 ince film sonuçlarıyla karşılaştırılmış ve katkılama oranının etkisi yorumlanmıştır.In this thesis, HfO2 thin films with additives of 1%, 5%, 10% chromium (Cr) were obtained by sol-gel dipping method on glass-holding surfaces. The films obtained were left to anneal at 500 ° C for one hour. The thicknesses of all thin films were measured with the aid of a photo spectrometer. Structural and optical properties of thin films with thickness determined X-ray diffraction pattern (XRD) and UV-VIS spectrometer were investigated. All analysis and results were compared with HfO2 thin film results obtained by various methods in the literature and the effect of doping ratio was interpreted.trinfo:eu-repo/semantics/openAccessHafniyum Oksitİnce FilmSol-JelUV-VISXRDThin FilmHafnium OxideSol-GelSEMMaster Thesis