Krom katkılı HfO2 ince filmlerin fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Yükleniyor...
Tarih
2021-06-23
Yazarlar
Dergi Başlığı
Dergi ISSN
Cilt Başlığı
Yayıncı
Batman Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü
Erişim Hakkı
info:eu-repo/semantics/openAccess
Özet
Bu tez çalışmasında, cam tutucu yüzeylere katkısız ve % 1, % 5, % 10 krom (Cr) katkılı HfO2 ince filmler sol-jel daldırma yöntemiyle elde edilmiştir. Elde edilen filmler bir saat 500 C’de tavlamaya bırakılmıştır. Tüm ince filmlerin kalınlıkları foto spektrometre yardımıyla ölçülmüştür. Kalınlıkları tespit edilmiş ince filmlerin yapısal ve optiksel özellikleri X-ışını kırınım deseni (XRD) ve UV-VIS spektrometresi incelenmiştir. Tüm analiz ve sonuçlar literatürde çeşitli yöntemlerle elde edilmiş HfO2 ince film sonuçlarıyla karşılaştırılmış ve katkılama oranının etkisi yorumlanmıştır.
In this thesis, HfO2 thin films with additives of 1%, 5%, 10% chromium (Cr) were obtained by sol-gel dipping method on glass-holding surfaces. The films obtained were left to anneal at 500 ° C for one hour. The thicknesses of all thin films were measured with the aid of a photo spectrometer. Structural and optical properties of thin films with thickness determined X-ray diffraction pattern (XRD) and UV-VIS spectrometer were investigated. All analysis and results were compared with HfO2 thin film results obtained by various methods in the literature and the effect of doping ratio was interpreted.
In this thesis, HfO2 thin films with additives of 1%, 5%, 10% chromium (Cr) were obtained by sol-gel dipping method on glass-holding surfaces. The films obtained were left to anneal at 500 ° C for one hour. The thicknesses of all thin films were measured with the aid of a photo spectrometer. Structural and optical properties of thin films with thickness determined X-ray diffraction pattern (XRD) and UV-VIS spectrometer were investigated. All analysis and results were compared with HfO2 thin film results obtained by various methods in the literature and the effect of doping ratio was interpreted.
Açıklama
Anahtar Kelimeler
Hafniyum Oksit, İnce Film, Sol-Jel, UV-VIS, XRD, Thin Film, Hafnium Oxide, Sol-Gel, SEM
Kaynak
WoS Q Değeri
Scopus Q Değeri
Cilt
Sayı
Künye
Arslan Akyüz, H. (2021). Krom katkılı HfO2 ince filmlerin fiziksel özelliklerinin incelenmesi. (Yayınlanmamış Yüksek Lisans Tezi). Batman Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü, Batman.
