Arama Sonuçları

Listeleniyor 1 - 3 / 3
  • Öğe
    Sol-jel yöntemiyle hazırlanmış Ag katkılı HfO2 ince filmlerin yapısal ve optiksel özelliklerinin incelenmesi
    (Batman Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü, 2018-06-07) Kaval, Şehmus; Pakma, Osman
    Bu çalışmada, sol-jel daldırma yöntemiyle cam yüzeylere katkısız ve Ag-katkılı HfO2 ince filmler elde edilmiştir. Daha sonra bu filmler 1 saat 500 C’de tavlamaya bırakılmıştır. Katkısız ve Agkatkılı HfO2 ince filmlerin yapısal ve optiksel özellikleri X-ışını kırınım deseni (XRD), UV-VIS spektrometresi ve taramalı elektron mikroskopu (SEM) ile karakterize edilmiştir. Yapılan analiz sonuçları literatürde çeşitli yöntemlerle elde edilmiş HfO2 kaplama sonuçlarıyla karşılaştırılmış ve yorumlanmıştır.
  • Öğe
    MOS yapıların dielektrik uygulamaları için vanadyum oksit ince filmlerin incelenmesi
    (Batman Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü, 2019-12-25) Bilgen, Yusuf; Pakma, Osman
    Bu çalışmada V3O7 ve V8O15 ince filmler sol-jel daldırma yöntemiyle cam ve p-Si yarıiletken yüzeyler üzerine kaplanmış; AFM ile yüzey yapısı araştırılmış, XRD ile filmlerin polikristal yönelmeleri ve kristal yapıları incelenmiştir. EDX ile filim muhtevası araştırılmış. UV-VIS ölçümleri ile optik özellikleri araştırılmıştır. Elde edilen filmlerden Al/VOx /p-Si/Al MOS yapılar oluşturularak akım-gerilim, kapasite-gerilim-frekans yöntemleriyle elektriksel ve fiziksel özellikler incelenmiştir. İnce filmleri elde etmek için %99 saflıkta V2O5 tozu, HCl, HNO3, H2O2 çözücülerinin farklı birleşimleri içinde çözünerek homojen çözeltiler elde edilmiş ve kaplanacak olan cam veya p-Si yüzey bu çözelti içerisine 600 m/s hızla daldırılmıştır. Bu şekilde kaplanan yüzey öncelikle 300 derece 5 dakika tavlama işlemine tabi tutulmuş 10. kattan sonra 400 ile 500 derece arasında değişen sıcaklıkta 1 saat tavlamaya tabi tutulmuştur. MOS yapılar elde etmek için p-Si üzerine elde edilen filmlerin bir tarafı buharlaştırma yöntemiyle Al kaplanmış, diğer tarafı yine buharlaştırma yöntemiyle delikli maske kullanılarak Al kaplanmıştır.
  • Öğe
    Krom katkılı HfO2 ince filmlerin fiziksel özelliklerinin incelenmesi
    (Batman Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü, 2021-06-23) Arslan Akyüz, Hicran; Pakma, Osman
    Bu tez çalışmasında, cam tutucu yüzeylere katkısız ve % 1, % 5, % 10 krom (Cr) katkılı HfO2 ince filmler sol-jel daldırma yöntemiyle elde edilmiştir. Elde edilen filmler bir saat 500 C’de tavlamaya bırakılmıştır. Tüm ince filmlerin kalınlıkları foto spektrometre yardımıyla ölçülmüştür. Kalınlıkları tespit edilmiş ince filmlerin yapısal ve optiksel özellikleri X-ışını kırınım deseni (XRD) ve UV-VIS spektrometresi incelenmiştir. Tüm analiz ve sonuçlar literatürde çeşitli yöntemlerle elde edilmiş HfO2 ince film sonuçlarıyla karşılaştırılmış ve katkılama oranının etkisi yorumlanmıştır.